토토 핫 개요

GAA 및 GAN 재료의 고급 크리스탈 성장 토토 핫, 웨이퍼 프로세스 토토 핫 및 평가 토토 핫을 활용하여 시장 품질 요구 사항을 초과합니다.

우리는 다음과 같은 세 가지 유형의 크리스탈 성장 토토 핫을 가지고 있습니다 :
- GAAS/GAN 장치의 MOVPE (Metalorganic Vapor Phase Epitaxy)
-GAN 기판, 장치 및 템플릿에 대한 HVPE (Hydride Vapor Phase Epitaxy)
- 다이아몬드 박막을위한 HFCVD (핫 필라멘트 화학 증기 증착)

우리의 결정 성장은 Movpe (금속 유기 증기 상 에피 택시), HVPE (Hydride vapor phase epitaxy) 및 HFCVD (Hot Filament Chemical Vapor Deposition) 토토 핫을 사용하여 Atomic의 전임자 스케일 제어와 함께 매우 얇은 나노계 스케일 레이어의 성장을 가능하게합니다. 구성. 수년간의 경험, 장비 매개 변수, 성장에 대한 정확한 지식으로 조건 및 원료를 사용하면 HVPE 토토 핫을 사용하여 고품질의 두꺼운 GAN 크리스탈을 사용 하여이 토토 핫을 자라게됩니다 HVPE 토토 핫 중에서 GAN 템플릿 제품을 개발하고 있습니다.

50 년 동안 우리는 원래 GAAS 기판 성장에 중점을 둔 Waver Process 토토 핫을 정제 해 왔으며, 이제이 토토 핫을 GAN 기판 와셔 처리에 적용하고 있습니다..

다양한 평가 방법은 다음을 포함하여 제품 검사에 사용됩니다. 우리는 지속적인 개선을 유지합니다 에피 택셜 웨이버 안정성과 새로운 에피 택셜 웨이버 구조 및 성장 방법의 개발을위한.