aln 스포츠 토토
use
- 멸균, 광선 요법, 수지 경화를위한 자외선 LED
기능
- HVPE 방법은 높은 결정도, 균일 한 두께 및 표면 품질을 달성합니다
- 자외선에 보이는 높은 광 전환율
X-ray 잠금 곡선 (FSS의 ALN 스포츠 토토)
반 값 너비의 평면 내 분포 (웨이퍼 중심에서 위치 +/- 15mm)
(0002) (10-12)
(0002) (10-12)
| 111 | 292 | |||||
| 127 | 117 | 102 | 274 | 291 | 295 | |
| 119 | 283 |
평균 : 287SEC
웨이퍼 평면의 두께 분포
광 흡수 스펙트럼
제품
- FSS의 2 인치 ALN 스포츠 토토 (샘플 호환)
- PSS의 2 인치 ALN 스포츠 토토 (개발 중)